Copper Foil 표면 결함 검사 장치란 Copper Foil 생산중 에 발생하는 결점을 인식, 처리하여 제품의 양불을 판정할 수 있 는 장비로써 광학과 제어 그리고, 인식 알고리 즘으로 구성되는 자동광학 검사장비입니다.
본 시스템은 독특한 조명제어를 기반으로, Grey Field에 의하여 결점 영상을 획득합니다.
또한 Multiple Threshold 기법을 활용함으로써, 최소 검출력을 증가(최소 검출 크기 10µm이하)시킵니다.
영상처리장치는 실시간으로 결점을 추출하여 영상처리하는 장치 가 장착되어있고, 다양한 판정 기준에 의한 수율 및 등급(결점 의 크기, 모양, 위치, 개수에 따른 점수제 및 가중치)을 조절할 수 있습니다. 특히, 1100mm x 1100mm 면적의 제품을 4.5초동안 fine mode로초고속 처리를 할 수 있는 high technology를 보유하고 있습니다.
사양
| Type
| Copper Foil
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| Panel Size
| 1350mm x endless
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| Pellicle Thickness
| 10-20µm(Shiny side) & 50-100µm (Mat side)
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| Transfer Speed
| 20M/min
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| Peculiarity of Optics
| Bending of specular surface and wave pattern is Max. ±1.5mm or less
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| Detectable Defects
| Pits & Dents, Resin Spots, Foreign Materials, Wrinkles, Scratches
, Pinholes, Black/White, Spot, Stains, Bulge, etc.
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Defect Size 1
(Shiny Side)
| Pinhole(Min. 0.015mm), Pits & Dents(Min. 0.17mm or 0.028mm2),
Wrinkles, Foreign Materials, Black/White Spot (Min. 0.25mm or
0.062mm2), Scratch (Min. 1.0mm or 0.1mm2), Stains(Min. 0.5mm)
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Defect Size 2
(Mat Side)
| Wrinkles, Foreign Materials, Black/White, Spot (Min. 0.26mm or
0.067mm2), Scratch (Min. 1.0mm or 0.1mm2) Stains (Min. 0.6mm)
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| Inspection Speed
| Max. 30M/min.
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| Inspection Range
| Both Shiny Side and Mat Sice
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| Inspection Condition
| In-line
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Non-Measurement
Area Set-up
| Edge 3.0mm - 1000mm (Operator Changeable) |
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